1994年,英福康首次推出了在当时具有革命性意义的冷阴极系列产品,其不仅铸就了我们在精密检测行业的领先地位,也成为真空测量技术发展史上的一个重要里程碑。
  如今,30年过去,冷阴极系列依旧如“灯塔”般,以无与伦比的性能,备受行业认可及赞誉。英福康也以其为基础,不断推陈出新,为用户们带来了更多创新技术和方案。
  值此30周年的特别时刻,让小编带您来揭开冷阴极产品的“前世今生”吧~
  闪回1994年
  英福康的前身,是一家总部位于列支敦士登的真空技术专业公司“Balzers ”。直到1969年,来自通用电气(GE)和锡拉丘兹大学(SU)的一群科学家和工程师在纽约锡拉丘兹召开会议,开发卤素检漏仪时,英福康INFICON 这个名字才正式诞生。
  自此,英福康便以新面貌全力投身真空技术、检漏和薄膜技术的研发生产,并经过多年发展,成为了该领域的全球领先企业,诸多产品和方案也成为了行业标准。
  1994年,英福康正式推出了冷阴极系列产品,其开创性的传感器技术,一经问世便备受赞誉,也深刻印证了我们在创立之初对突破极限和重新定义真空技术的承诺。
  真空测量技术的一次创新突破
  英福康冷阴极系列产品(PKR)是一种将冷阴极与皮拉尼相结合的传感器,即两种测量原理提供单一输出信号,这在当时具有革命性意义。将两种测量原理合二为一,无需单独激活冷阴极的特性,使其能够满足从半导体制造到研究实验室等不同行业的严格要求,具备高精度、准确性和无与伦比的灵敏度。
  冷阴极系列产品的核心,是冷阴极电离真空计技术,这也是英福康首创的一种方法,依靠测量电离气体粒子来确定真空系统内的压力水平。这种创新方法可提供实时反馈,使操作员能够精确地监控真空过程。冷阴极与众不同的特点之一是它的多功能性。无论是在超高真空环境中工作,还是处理腐蚀性气体,这些仪器都能在各种应用中提供稳定可靠的性能。
  此外,冷阴极系列还有英福康数十年的专业知识和质量承诺为后盾。精密的测试和严格的质量控制措施,能够施确保每台仪器都符合可靠性和耐用性的最高标准,使其成为全球专业人士值得信赖的“伙伴”。
  展望未来:继续传承创新精神
  随着新兴技术和行业需求的不断发展,30年来,英福康持续创新,用一个又一个新产品、新方案,将冷阴极所代表的创新、卓越与可靠的精神发扬光大。
  GeminiTM系列,便是其中最具代表性的当代继承者之一。GeminiTM MxG5xx 大气压至超高真空真空计是一个纯冷阴极传感器系统,加之获得专利的超低杂散磁场设计,可用于从大气测量低至1×10-9mbar,为多个应用领域提供了兼顾可靠性、实用性与灵活性的真空测量方案。
  Augent OPG550自激式光学发射光谱仪,则是英福康将冷阴极与光谱仪相结合,为分析仪器性能带来的又一次创新突破。冷阴极在腔体内激发等离子体,光谱仪对由此产生的光谱线进行评估,可用于监测1×10-7至5mbar的气体类型,并同时测量从1×10-7mbar到大气的总压力。Augent OPG550的应用多种多样,包括带有泄漏气体测定功能的腔室泄漏检查、更快的上升速率(RoR)测试、实时终点检测以及在工艺过程中监测气体类型和浓度。
  对精密真空测量技术的探索,英福康从未止步!